半導体ウエハープロセス製造工程にて使用する、透明高純度石英を用いた薬液昇温装置です。
高温処理には最適であり、半導体部品に影響を与える金属イオンの溶出が全くありません。
高い安全性と優れた耐熱、耐薬品性をもち高精度で安定した温度制御を実現しますので、ウエットプロセスラインに安心して広くご使用下さい。
◆熱効率の良いインコネルヒーターエレメントを採用
インコネルヒーターの特色として、網目状の全てが切断されない限り加温することが出来ます。もし万が一空焚きをしてもヒーターは断線しません。
インコネルヒーターを石英に直接貼り付けることにより、長寿命で熱効率の高い製品を実現しました。
◆優れた断熱構造
断熱材には高純度アスベストが全く含まれないシリカ系ガラス繊維を使用しております。
これは断熱性、柔軟性、絶縁特性に優れ軽量です。
◆安全対策のハウジング
外箱（ハウジング）は、Flame Retardant Porypropylene(FRPP)自己消火性ポリプロピレンを使用しております。これは通常のポリプロピレンよりも難燃性に優れている素材です。
◆過熱防止安全機構装備
インコネルヒーターの温度検知により温度の制御と空焚の防止を行う、過熱防止安全機構を装備しています。
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