石英インラインヒーター
LH-B-444 |
とりわけナイトライドエッチング及びＳＣ－１洗浄工程に於いて抜群の耐久性、長寿命の実績があります。
ヒーターエレメントにインコネルヒーターを使用することにより、従来の空焚きによる断線やエアー溜まり部の断線が解消され、長寿命で熱効率の高いインラインヒーターを実現しました。 |
■石英インラインヒーターの特長
１．薬液循環用加熱ヒーターとして、薬液循環バスとの併用でご利用できます。
２．熱効率の良いインコネル製ヒーターエレメントを採用しています。
３．石英筒の外面全体に網目状のヒーターエレメントを直接接着し、剥がれや隙間が無く断線等のトラブルがありません。
４．接液部は高純度石英ガラスでクリーンです。そのため半導体部品に影響を与える金属イオンの溶出がありません。構造は非常にシンプルな為液溜まり等ができません。
５．外装には難燃性に優れたＦＲＰＰ（自己消化性ＰＰ）の採用。
６．インコネルヒーターの温度検知によりヒーター温度の制御を行う過熱防止用安全機構を装備しています。
■型式説明
例…LH-B-444型（ショートストレート、出力4.4kW、4角形タイプ） |
| 長さ(※IN→OUT) |
ヒーター出力 |
ハウジング形状 |
LH-B:ショート（ストレート）
LH-A:ロング （ストレート）
LH-D:ショート（Ｌ型） |
22::2.2kW
44:4.4kW
65:6.5kW |
4:4角形
8:8角形 |
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※IN→OUTが真っ直ぐなストレートタイプ、９０度曲がっているLタイプの２種類があり配管に合わせて選択出来ます。（但し設置は必ず垂直にして下さい。） |
| 主な仕様（LH-D-444型の場合） |
寸法
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155×155×488mm |
| 温度範囲 |
室温～160℃ |
| 電源 |
単相200Ｖ×22Ａ |
| 消費電力 |
4.4kW |
| 使用薬液 |
アンモニア過水、酸（フッ酸は不可）等 |
| 接続 |
3/4インチ石英フレア継手出し |
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| その他の仕様にも対応します。ご要望に応じた設計、製作をしています。
詳しくはお問い合わせ下さい。
（専用コントローラーもご用意しております。）
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