| 石英昇温槽 |
IK-206WOF |
半導体の洗浄工程、エッチング工程、剥離工程、その他精密洗浄工程向けの透明高純度石英（99.99％）の昇温槽です。インコネ－ル製ヒ－タ－エレメントを採用。
従来の恒温槽ヒ－タ－によく生じていた剥がれや隙間、ホットポット等のトラブルを解消しました。 |
■石英昇温槽の特長
１．熱効率の良いインコネル性ヒーターエレメントを採用しています。
２．石英槽の外面全体に網目状のヒーターエレメントを直接接着し、剥がれや隙間が無く断線等のトラブルがありません。
３．接液部は高純度石英ガラスでクリーンです。そのため半導体部品に影響を与える金属イオンの溶出がありません。
４．石英槽の支持には独特のシステムを採用し、石英フランジ部に不要な負担をかけない構造になっています。
５．外装には難燃性に優れたＦＲＰＰ（自己消化性ＰＰ）の採用
６．過熱防止用安全機構装備。インコネルヒーターの温度検知及び石英壁面温度の検知により、ヒーター温度の制御を行います。
■型式説明
例…IK-206WOF型（６インチキャリア２個掛けオーバーフロータイプ） |
使用キャリア |
サイズ |
タイプ |
IK-205：4インチ 5インチ兼用
IK-206：6インチ
IK-208：8インチ
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S：シングル
W：ダブル |
なし：バットタイプ
OF：オーバーフロー循環タイプ
D：中央ドレンタイプ
SDＤ：サイドドレンタイプ |
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| 主な仕様（IK-205SSD型の場合） |
石英内寸
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210×220×250mm |
| 温度範囲 |
室温～160℃ |
| 電源 |
単相200Ｖ×15Ａ |
| 消費電力 |
2.4kW |
| 使用薬液 |
アンモニア過水、酸（フッ酸は不可）等 |
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| ご希望により、石英槽の寸法を変更して製作することが可能です。お客様のご要望に応じた設計、製作をしています。詳しくはお問い合わせ下さい。
（専用コントローラーもご用意しております。）
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