石英昇温槽【半導体関連装置】
石英昇温装置
石英昇温装置
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- 半導体の洗浄工程、エッチング工程、剥離工程、その他精密洗浄工程向けの透明高純度石英(99.99％)の昇温槽です。インコネ－ル製ヒ－タ－エレメントを採用。
- 従来の恒温槽ヒ－タ－によく生じていた剥がれや隙間、ホットポット等のトラブルを解消しました。
特徴
- 半導体ウエハープロセス製造工程に...
- 熱効率の良いインコネル製ヒーターエレメントを採用しています。
- 石英槽の外面全体に網目状のヒーターエレメントを直接接着し、剥がれや隙間が無く断線等のトラブルがありません。
- 接液部は高純度石英ガラスでクリーンです。そのため半導体部品に影響を与える金属イオンの溶出がありません。
- 石英槽の支持には独特のシステムを採用し、石英フランジ部に不要な負担をかけない構造になっています。
- 外装には難燃性に優れたFrPP(自己消化性PP)の採用
- 過熱防止用安全機構装備。インコネルヒーターの温度検知及び石英壁面温度の検知により、ヒーター温度の制御を行います。
仕様表
| 使用キャリア | 電源 | 使用温度範囲 | 使用薬液 | 接続 |
|---|---|---|---|---|
| 4?8インチ用 | 単相200V | 室温?160℃ | アンモニア過水 リン酸等 (フッ酸は不可) |
3/4インチ 石英フレア継手出し |
専用コントローラーもご用意しております。
ご要望により石英槽の寸法を変更して製作することが可能です。
詳しくはお問い合わせ下さい。※
■お問い合わせ
※ こちらの商品に関しての詳細は製造元にお問い合わせ下さい。
製造元：有限会社カガテクノ
電 話：048-685-6229
携 帯：090-7637-5093(担当者直通)
E-mail：kaga-techno@citrus.ocn.ne.jp
主な用途例
- ■洗浄工程(拡散前処理等)
- ■エッチング工程(ナイトライドエッチング)
- ■剥離工程(レジスト等)
- ■その他精密洗浄工程
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